Agilent TwisTorr 84 FS涡轮分子泵

简要描述：

Agilent TwisTorr 84 FS涡轮分子泵，高真空涡轮分子泵采用TwisTorr拖动级技术和安捷伦悬浮轴承，具有高性能、高可靠性及经济性。TwisTorr拖动级技术能提高小分子气体（如氢气和氦气）压缩比，从而实现大抽气量和城耐受高前级压力，进而能使用更经济实惠、更小型的前级泵。该技术使得转子能采用紧凑的设计，变得高效节能，并能保持较低的工作温度。

型号
更新时间	2020-08-14
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详细介绍

高真空涡轮分子泵采用TwisTorr拖动级技术和安捷伦悬浮轴承，具有高性能、高可靠性及经济性。TwisTorr拖动级技术能提高小分子气体（如氢气和氦气）压缩比，从而实现大抽气量和城耐受高前级压力，进而能使用更经济实惠、更小型的前级泵。该技术使得转子能采用紧凑的设计，变得高效节能，并能保持较低的工作温度。安捷伦悬浮轴承系统降低了噪音和振动，并能保证*的轴承工作条件，从而能延长工作寿命，zui大程度减少系统停机时间，并能确保长时间稳定性。TwisTorr84FS泵*的轴承和干式润滑剂设计，使得泵无需泵油和维护，能够以任意方向安装。可选择一体式控制器或机架控制器。

Agilent TwisTorr 84 FS涡轮分子泵特性：

1.创新的 TwisTorr 技术 — 能提高小分子气体压缩比，而非常小巧的转子设计则实现了高性能和zui小的系统体积。

2.耐受高前级压力 — 允许使用更小的前级泵，从而降低了系统成本和尺寸。

3.安捷伦悬浮轴承系统 — 低振动，低噪音，*的轴承工作条件，延长泵的使用寿命，实现使用维护成本优化，zui大程度减少系统停机时间，并保证长时间稳定的抽气性能。

4.*的轴承和干式润滑剂 — 免维护、免油，实现任意角度安装。

5.铜制水冷通道（可选） — 可避免腐蚀，优化热传递性能，降低用水量和使用维护成本。

典型涡轮泵应用：

安捷伦涡轮分子泵包括集成泵组和多流路泵，其设计旨在实际应用中达到*性能。泵的紧凑型设计满足工业中的严苛空间要求。涡旋分子泵几乎不需要维护，并可避免错误使用。无论您是终端用户还是原始设备制造商，安捷伦均可针对您的应用为您提供帮助和支持，或定制适合您的需求的系统。

Agilent TwisTorr 84 FS涡轮分子泵典型涡轮泵应用：

领域	详细说明	应用
质谱和分析仪器	针对质谱系统优化的全系列泵和控制器具有多入口泵组的定制泵低成本、易于使用、高分析性能对于 GC/MS，提供用于相对低气体载荷环境的 1 个真空室和用于分析无机样品的中等真空接口对于 LC/MS，需要提供多室、高通量真空系统对于 ICP-MS，提供多种真空系统，包括用于氩气等重载气的泵和使用氦气的碰撞池对于 TOF 系统，需要较小尺寸、高通量和高效的散热设备	质谱 GC/MS LC/MS ICP-MS TOF
科研中的真空应用	非常清洁、可靠和高性价比的 HV 和 UHV 粗真空轴承未暴露于 UHV，降低了污染高速和高压缩可以以任意角度安装联用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量气体	高能物理融合技术一般 UHV 研究同步光源粒子加速器
工业真空加工	为薄膜沉积应用而专门设计的集成分子泵解决方案适用于原始设备制造商和终端用户的专业性能适用于具有预真空锁或大型内联连续系统的单室批量系统和多室系统的泵	薄膜沉积：玻璃涂层设备（建筑和汽车玻璃，平板显示器）薄膜太阳能电池生产（光电）光学数据介质（CD、DVD、磁光光盘）磁性存储介质表面处理光学涂层（眼科、精密光电）膜或箔上的辊式/卷绕涂覆设备加工：生产电视机和显示器显像管疏散灯（高速公路照明、投影机） X 射线管和电子设备一般工艺：真空炉/冶金
纳米技术仪器	分析从有机化合物到半导体晶片等各类物质全系列的高真空和超高真空泵特别适用于要求严苛的 SEM、TEM 和表面分析系统低振动涡旋泵适用于zui敏感的显微分析可快速、无油式排空大型样品室内的气体集成的泵控制器可灵活进行控制，几乎不生成电磁噪音非常适合为半导体生产创造合适环境高转速确保能够以高泵速抽空半导体生产中释放的轻质气体（He、H）符合高速循环应用的严格要求，例如真空装载锁通过对多个涡旋泵联用一个前级泵，可提高工具的可靠性联用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量气体安装于支架上的控制器或一体式控制器允许将电子设备放置于远处	电子显微镜（SEM、TEM）聚焦离子束系统 (FIB) 表面分析半导体制造

性能指标

技术规格

抽速： CFF 4.5 英寸或 ISO 63 配置：CFF 2.75 英寸配置：KF 40 配置：	N2：67 L/s N2：56 L/s N2：49 L/s	He：63 L/s/ He：46 L/s He：38 L/s/	H2：53 L/s H2：40 L/s H2：36 L/s	Ar：66 L/s Ar：57 L/s Ar：44 L/s
全转速气体流量（使用推荐的前级泵）风冷 (35 °C) 水冷 (25 °C, 65 L/h)	N2：100 sccm N2：100 sccm	Ar：70 sccm Ar：70 sccm
压缩比：	N2：≥ 1 × 1011	He：2 × 106	H2：5 × 104	Ar：> 1 × 1011
极限真空*（使用推荐的前级泵）	< 5 x 10-10 mbar (< 3.75 x 10-10 Torr)
入口法兰	CF 4.5 英寸（外径） CF 2.75 英寸（外径）	ISO 63 KF40
前级管道法兰	KF 16 NW
转速	81000 rpm（驱动频率 1350 Hz）
启动时间	< 2 分钟
推荐的前级泵	机械：DS 40M-DS 102 干式泵：Agilent IDP-3，SH 110
工作位置	任意位置
操作环境温度	+5 °C 至 +35 °C
空气相对湿度	0 至 90%（非凝缩）
烘烤温度	入口法兰zui高温度 120 °C（CFF 法兰）入口法兰zui高温度 80 ℃（ISO 法兰）
润滑油	yongjiu性润滑
冷却要求	风冷：水冷：	气流温度 +5 °C 至 +35 °C 冷却水温度：+15 °C 至 +25 °C zui低流速：65 L/h (0.30 GPM) 压力：2 至 4 bar（45 至 75 psi）
噪音压力级别（全速运行时距离 1 m 处）	40 dB(A) *
储存温度	-40 °C 至 +70 °C
zui高海拔	3000 m
认证	CE、C-CSA-US、RoHS 符合 2011/65/UE 要求
重量 kg（磅）：	泵 ISO 63： 2.5 (5.5)	泵 CFF 4.5 英寸： 3.5 (7.7)	泵 CFF 2.75 英寸： 3.34 (7.35)	泵 KF 40： 2.37 (5.22)